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【透過照明(transmitted lighting)】

【透過照明】(とうかしょうめい/transmitted lighting)

対象物の背後から照明を与え、対象物からの透過光、または対象物の影を観測する照明方式。

下図に透過照明の概念図を示します。対象物が透明な場合には、光を透過させることによって、対象物内部の欠陥を検出したり、膜厚の異常を濃度または透過率の異常として検出する場合などに用いられます。

また、対象物が非透明な場合には、対象物のシルエットを利用して、形状計測、個数計測を行ったり、対象物のピンホ⼀ルや破れを検出する場合などに用いられます。

transmitted lighting